製品仕様
製品仕様比較表
| 名称・型式 | 反射分光式膜厚計 | ||
| AFW-100W | AFW-100W-NIR | AFW-100BX | |
| 装置構成 | 本体・スタンド・2分岐ファイバー（1.5m）・ノートPC・膜厚測定サンプル | ||
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測定波長範囲 |
380nm～1050nm | 900～1650nm | 400nm～900nm |
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測定膜厚範囲 |
100nm～1.5μm（C/F） | 500nm～80μm（C/F） | 50nm～1.5μm（C/F） |
| 1.5μm～60μm（FFT） | 1.5μm～60μm（FFT） | ||
| 計測再現性 | 0.2%～1%（膜質依存による） | ||
| 検出素子 |
浜松ホトニクス製 CMOSイメージセンサ |
浜松ホトニクス製 InGaAsイメージセンサ |
浜松ホトニクス製 CMOSイメージセンサ |
| 素子数 | 1024ch | 256ch | 1024ch |
| 波長幅 | 0.65nm/素子 | 3nm/素子 | 0.65nm/素子 |
| 測定スポット系 | 約7nm | φ6～120μm | |
| 光源 | 50W ハロゲンランプ | 100W ハロゲンランプ | |
| 測定理論 | カーブフィッティング法（C/F）/FFT法 | ||
| 外形寸法 | スタンド：W150×D150×H115mm | ||
| 本体：W230×D230×H135mm | |||
| 顕微鏡：W318×D602×H408mm | |||
| 概算重量 | 5.5kg ※PC除く | 25kg ※PC除く | |
| ユーティリティ | AC100V 50/60Hz | ||
