レンズなどの湾曲したワークの膜厚の測定では顕微鏡を用いることでより正確な測定が可能となります。微小エリアを計測し、散乱光を抑えて測定しました。
ARコートは一般的に数百ナノメートルの膜厚でコーティングされます。
測定理論は「CF」で測定をしました。
波長毎の反射率(ボトム波長)も調べることが可能です。
対象装置:AFW-100W
ARコート(反射防止膜)の
反射率スペクトル