半導体回路の保護膜

ポリイミド膜は半導体回路の保護膜として広く利用されています。シリコンウェハ上のポリイミド膜だけでなくカプトンテープ等のフィルムに対しても測定は可能です。

• 測定波長：600nm～1,000nm
• 測定膜：ポリイミド（PI）
• 基板：Si
• (想定／実測)膜厚：45μm／45.655μm
• 屈折率：1.8

対象装置：AFW-100W