半導体回路の保護膜

ポリイミド(PI)

ポリイミド膜は半導体回路の保護膜として広く利用されています。シリコンウェハ上のポリイミド膜だけでなくカプトンテープ等のフィルムに対しても測定は可能です。

  • 測定波長:600nm~1,000nm
  • 測定膜:ポリイミド(PI)
  • 基板:Si
  • (想定/実測)膜厚:45μm/45.655μm
  • 屈折率:1.8

 

対象装置:AFW-100W

ポリイミド膜(PI)の

反射率スペクトル

ポリイミド膜(PI)の

反射率スペクトル

(波長600nm~1,000nm拡大)