製品紹介

あすみ技研膜厚計の使いやすい5つのポイント

①操作簡単、3ステップで測定可能

 

「ダーク、リファレンス、測定」の3ステップだれでも簡単に膜厚を測定することができます。

日本人向けに日本人が最初から開発したソフトなので細部まで作り込み、作業者の負担を減らす工夫をしています。

誰でもできる簡単操作

②シャッター内蔵でダークの取得が簡単

 

従来の反射分公式膜厚計はダーク取得の際はファーバーに反射光が当たらないように注意をしなければなりませんでした。

あすみ技研の反射分光式膜厚計はシャッター機能を装置に内蔵しておりますので、何も気にせず「ダーク」のボタンを押すだけで測定に移ることができます。

測定前設定も簡単にできます

③理論値と測定値の表示でわかりやすい

 

あすみ技研の膜厚計は膜厚測定時に理論波形と測定波形の両方が表示されます。理論波形に対してどれくらいのずれがあるかが一目でわかるようになっています。

また測定後の膜厚値についてもその値の信頼性を色別表示するようにしています。

そのため測定の誤りにも気づきやすいソフト設計となっています

わかりやすい結果表示。理論値と測定値の両方表示。

ワークの厚みに関係なく測定ができる

 

反射分光式膜厚計の測定ステージはファイバーの高さ位置が調整できる機構がついております。

ワークの厚さに合わせてファイバーの高さ位置も調整可能なので、ワーク厚さによる測定の制限を受けにくいという特徴があります。

ワーク(サンプル)の厚さに関係なく測定できる

⑤任意の繰り返し測定が可能

 

測定のモードは1回測定、常時連続測定、時間間隔測定となります。

この時間間隔測定モードは任意の時間間隔で任意の繰返し回数での測定ができます。経時変化測定や測定誤差の取得など御客様の用途に合わせた測定が可能な装置となっています。

思ったままに繰り返し測定が可能。

製品ラインナップ

汎用性のあるスタンダードな機種から従来では測定できなかった凹凸のある電子部品や曲面レンズに対しての測定を可能にした機種まで、あすみ技研の膜厚計・透過率計は計4機種で御客様の幅広いニーズにお応えします。

反射分光式膜厚計 AFW-100W

~反射分光式膜厚計 AFW-100W~

 

コンパクトな光源一体型筐体に膜厚計に最適な分光器を搭載したスタンダードな機種です。

測定波長と測定可能な膜厚を幅広くカバーしております。

  • 測定可能波長・・・380nm~1050nm

  • 測定可能膜厚・・・100nm~60μm


反射分光式膜厚計 AFW-100W-NIR

~反射分光式膜厚計 AFW-100W-NIR~

 

「AFW-100W」との違いは測定可能波長と膜厚のレンジになります。

対象ワークサイズも「AFW-100W」と同様に8インチウェハまで対応が可能です。

  • 測定可能波長・・・900nm~1650nm

  • 測定可能膜厚・・・500nm~80μm


顕微分光式膜厚計 AFW-100BX

~顕微分光式膜厚計 AFW-100BX~

 

最小Φ6μmの顕微スポット測定が可能な機種。ウェハパターンや電子部品の凹凸などに対して、微小エリアの膜厚の測定が可能です。

顕微鏡のCマウントアダプタに取付けることにより、お手持ちの顕微鏡で測定をすることも可能です。

  • 測定可能波長・・・380nm~900nm

  • 測定可能膜厚・・・50nm~50μm