製品仕様

反射分光式膜厚計 AFW-100W

測定スタンドのセンサー直下からの最大奥行きサイズは黄色矢印部分で126mmありますので、8インチウェハ―まで測定可能です。測定スタンド図面は下記リンクからダウンロードできますのでぜひご活用ください。

ダウンロード
測定スタンド図面.pdf
PDFファイル 967.1 KB

●C/F(カーブフィッティング、Curve Fitting)

 測定された反射率と理論値の反射率の

 差の二乗が最も小さくなる膜厚値を

 求めます。

 波形が3個以下(膜厚1μm程度)の時の

 使用を推奨。

 

●FFT(高速フーリエ変換、Fast Fourier Transform)

 ある波長幅に膜厚を示す干渉波形が

 何個あるかをFFT計算により求め、

 これから1周期の波長幅が導かれる。

 波形が3個以上(膜厚1μm程度)の時の

 使用を推奨。