製品仕様
反射分光式膜厚計 AFW-100W
測定スタンドのセンサー直下からの最大奥行きサイズは黄色矢印部分で126mmありますので、8インチウェハ―まで測定可能です。測定スタンド図面は下記リンクからダウンロードできますのでぜひご活用ください。
| 型式 | AFW-100W | |
| 用途 | 一般膜厚用 | |
| 装置構成 | ユニット本体、測定スタンド、2分岐ファイバー（1.5m）、PC、膜厚測定サンプル | |
| 測定波長範囲 | 380nm～1050nm | |
| 膜厚測定範囲 |
100nm~1μm（カーブフィッティング法） |
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1μm～60μm（FFT法） |
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| 計測再現性 |
0.2％～1%（膜質依存による） |
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| 測定スポット径 |
約7mm |
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| 光源 |
12V-50W ハロゲン |
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| 測定理論 |
カーブフィッティング法 / FFT法 |
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外形寸法 （mm） |
測定スタンド |
W150×D150×H115 |
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本体 |
W230×D230×H135 |
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| 概算重量 |
5.5kg ※PCを除く |
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| ユーティリティ |
AC100V 50/60Hz |
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| 消耗品 |
ハロゲンランプ |
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| 定価 |
¥3,300,000- （別途消費税） |
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●C/F(カーブフィッティング、Curve Fitting)
測定された反射率と理論値の反射率の
差の二乗が最も小さくなる膜厚値を
求めます。
波形が3個以下(膜厚1μm程度)の時の
使用を推奨。
●FFT(高速フーリエ変換、Fast Fourier Transform)
ある波長幅に膜厚を示す干渉波形が
何個あるかをFFT計算により求め、
これから1周期の波長幅が導かれる。
波形が3個以上(膜厚1μm程度)の時の
使用を推奨。