製品仕様

●C/F(カーブフィッティング、Curve Fitting)

　測定された反射率と理論値の反射率の

　差の二乗が最も小さくなる膜厚値を

　求めます。

　波形が3個以下(膜厚1μm程度)の時の

　使用を推奨。

●FFT(高速フーリエ変換、Fast Fourier Transform)

　ある波長幅に膜厚を示す干渉波形が

　何個あるかをFFT計算により求め、

　これから1周期の波長幅が導かれる。

　波形が3個以上(膜厚1μm程度)の時の

　使用を推奨。