製品仕様

顕微分光式膜厚計 AFW-100BX

名称 顕微分光式膜厚計
型式  AFW-100BX
装置構成 顕微鏡、ユニット本体、ファイバー(1m)、PC、膜厚測定サンプル
顕微鏡 オリンパス社製金属顕微鏡
測定波長範囲  380nm~900nm
膜厚測定範囲

 50nm ~ 1.5μm(カーブフィッティング法)

 1.5μm ~ 50μm(FFT法)

計測再現性

 0.2%~1%(膜質依存による)

測定スポット径

 80μm(5倍)、40μm(10倍)、
20μm(20倍)、8μm(50倍)

光源

 12V-100W ハロゲン

測定理論

 カーブフィッティング法 / FFT法

外形寸法
(mm)

 顕微鏡:W317.5 × D602 × H480

 本体:W230×D230×H135

概算重量

 25kg ※ PCを除く

ユーティリティ

 AC100V 50/60Hz

消耗品

 ハロゲンランプ

●C/F(カーブフィッティング、Curve Fitting)

測定された反射率と理論値の反射率の差の二乗が最も小さくなる膜厚値を求めます。波形が3個以下(膜厚1μm程度)の時の使用を推奨。

 

●FFT(高速フーリエ変換、Fast Fourier Transform)

ある波長幅に膜厚を示す干渉波形が何個あるかをFFT計算により求め、これから1周期の波長幅が導かれる。波形が3個以上(膜厚1μm程度)の時の使用を推奨。


測定イメージ

顕微鏡を用いることで従来では測定できなかった凹凸のある電子部品や曲面レンズに対して測定することが可能になりました。