●C/F(カーブフィッティング、Curve Fitting)
測定された反射率と理論値の反射率の
差の二乗が最も小さくなる膜厚値を
求めます。
波形が3個以下(膜厚1μm程度)の時の
使用を推奨。
●FFT(高速フーリエ変換、Fast Fourier Transform)
ある波長幅に膜厚を示す干渉波形が
何個あるかをFFT計算により求め、
これから1周期の波長幅が導かれる。
波形が3個以上(膜厚1μm程度)の時の
使用を推奨。
顕微鏡を用いることで従来では測定できなかった凹凸のある電子部品や曲面レンズに対して測定することが可能になりました。