製品仕様

顕微分光式膜厚計　AFW-100BX

名称		顕微分光式膜厚計
型式		AFW-100BX
装置構成		顕微鏡、ユニット本体、ファイバー（1m）、PC、膜厚測定サンプル
顕微鏡		オリンパス社製金属顕微鏡
測定波長範囲		380nm～900nm
膜厚測定範囲		50nm ~ 1.5μｍ（カーブフィッティング法）
		1.5μm ~ 50μm（FFT法）
計測再現性		0.2％～1%（膜質依存による）
測定スポット径		80μm（5倍）、40μm（10倍）、 20μm（20倍）、8μm（50倍）
光源		12V-100W ハロゲン
測定理論		カーブフィッティング法 / FFT法
外形寸法（mm）		顕微鏡：W317.5 × D602 × H480
		本体：W230×D230×H135
概算重量		25kg　※ PCを除く
ユーティリティ		AC100V　50/60Hz
消耗品		ハロゲンランプ

●C/F(カーブフィッティング、Curve Fitting)

測定された反射率と理論値の反射率の差の二乗が最も小さくなる膜厚値を求めます。波形が3個以下(膜厚1μm程度)の時の使用を推奨。

●FFT(高速フーリエ変換、Fast Fourier Transform)

ある波長幅に膜厚を示す干渉波形が何個あるかをFFT計算により求め、これから1周期の波長幅が導かれる。波形が3個以上(膜厚1μm程度)の時の使用を推奨。

顕微鏡を用いることで従来では測定できなかった凹凸のある電子部品や曲面レンズに対して測定することが可能になりました。