FAQ

膜厚測定について

Q. 測定が可能なサンプルはどんなものですか?

A. 光源からの光をファイバーから発してワーク表面で反射した光を解析しますので、当然反射するものが対象となります。よって黒色基板や金属でもヘアライン加工された基板は反射光がうまく受光出来ませんので、測定対象外ワークとなります。一般的な光沢のある金属、樹脂、ガラス、シリコンウエハなどは測定可能なワークとなります。 基板は樹脂やフィルム、鏡面反射するシリコンウエハなど測定可能です。金属板でヘアライン加工された基板ですと光が散乱してしまい測定が困難です。


Q. どんな膜でも測定はできるのでしょうか?

A. 膜表面で反射した光と膜内を通過し基板表面で反射した光の干渉強度スペクトルを解析しますので、光が膜を透過出来る程度の透明性は必要となります。色がある膜でも、下地のワークが透けて見えれば測定出来る可能性が高いと言えます。光を通す膜であれば基本的には測定可能です。光を通さない金属膜や白色材料については光が散乱してしまうため測定が困難です。


Q. 測定できる材料、測定できない材料について教えてください。

A. 光を通す材料であれば基本的には測定可能です。光を通さない金属膜や白色材料については光が散乱してしまうため測定は困難です。基板は樹脂やフィルム、鏡面反射するシリコンウェハなどは測定可能です。金属板でヘアライン加工された基板ですと光が散乱してしまい測定は困難です。


Q. 膜厚測定のために必要な情報は?

A. 膜の屈折率(n.k)と基板の屈折率(n.k)情報が必要となります。屈折率(n)は波長依存があります。このため多くの波長においての膜と基板の屈折率(n)がわかっているようであれば、膜厚測定の精度が向上します。膜や基板に色やある程度の不透明さがある場合、その膜や基板は吸収係数(k)を持つことがあり、できる限りの準備していただくことをお勧めします。


Q. 多層膜の測定はできますか?

A. 回答準備中


レンタルについて

Q. セッティングは面倒ではないでしょうか?

A. 分析ソフトインストール済みのPCも同梱されていますので、USBケーブル、電源ケーブルを接続するだけで、約5分ほどでセッティングできます。


Q. 見積書が欲しいのですが?

A. 書面でのお見積り書を希望される場合、お電話もしくはHPのお問い合わせよりお申し込みください。


Q. 返却は簡単ですか?

A. 専用ケースに入れていただくだけですので簡単です。


Q. レンタルの期間の延長は可能ですか?

A. お気軽に弊社営業技術部にご相談ください。対象装置の空き具合によりご対応させていただきます。


Q. 自社の支払いサイトに合わせていただけますか?

A. はい、ご対応させていただいております。 お気軽にご相談ください。


Q. 自社とは違う場所で装置を使用したいのですが?

A. はい、ご対応させていただきます。その際に、装置を受け取っていただくご担当者様のお名前、住所等をお知らせください。


Q. 海外で装置を使用したいのですが?

A. はい、可能です。 ただし、受け渡しが国内渡しになります。 国外に持ち出すにあたって必要な書類もご準備させていただいております。


Q. 製品の使い方でわからないところがあるのですが?

A. 全ての製品には取り扱いマニュアルを同封しておりますがご不明点がありましたら、弊社の営業技術部窓口までお気軽にお問い合わせください。また、出張にて設置説明のサービスも行っております。


Q. 送料はいくらですか?

A. 弊社へ返送時のご負担をお願いします。


Q. レンタルの際、必要なユーティリティは?

A. 膜厚計本体と解析用PCで100Vコンセントを2口ご用意ください。


Q. 受託測定をお願いする事はできますか?

A. 測定対象のワークを弊社まで送付いただければ、 受託測定サービスもご対応させていただいております。測定する時間が無い、装置が使いこなせるか不安などのニーズにご対応させていただきます。


Q. 装置の見学は可能ですか?

A. はい、弊社のラボにお越しいただければ可能です。


Q. 装置の購入は可能ですか?

A. はい、販売もさせていただいています。弊社営業技術部までお問い合わせください。